Stéphanie, 27 ans, chercheuse en microélectronique



Ingénieur Chercheur, c'est un vaste terme ! Sur quoi travaillez-vous exactement ?
Je suis spécialisée dans la lithographie en immersion.
Oulà, qu'est-ce que c'est que ça ?!
On va partir du commencement : les cartes bleues ou les téléphones portables, par exemple, sont munis de puces électroniques qui contiennent des informations essentielles à leur bon fonctionnement. Ces puces, bien qu'elles paraissent très plates et très petites, sont en fait composées d'une multitude de matériaux et de pièces (comme peut l'être le moteur d'une voiture.)
Sauf que l'on n'est plus du tout à la même échelle...
Exactement ! Tout est hyper miniaturisé. Et l'équipe avec laquelle je travaille a pour rôle de réussir à miniaturiser toujours plus.
Pour quelles raisons ?
Parce que plus le « moteur » de l'objet est petit plus l'objet va être petit, d'où des mobiles de plus en plus réduits, des ordinateurs de moins en moins encombrants...
Et comment vous y prenez-vous ?
Avant de « coller » les matériaux sur le socle de la puce (une plaque de silicium*), il faut dessiner leurs futurs emplacements comme un architecte bâtit ses plans. Or comme je vous l'ai expliqué, la difficulté est que l'on ne travaille pas à taille humaine.
C'est-à-dire ?
Le plus petit dessin que j'ai tracé mesure 0, 000000065 centimètres (soit 0,65 Angström)
Waouh !
Et oui ! Nous travaillons donc avec des appareils très perfectionnés qui permettent de réduire notre schéma de base. Tout est informatisé car nous devons croiser de nombreuses données.
Et vous, à quel moment intervenez-vous exactement ?
Le dessin de base est réalisé sur une plaque de verre sur laquelle est projeté un rayon laser, qui projette à son tour le dessin à travers des lentilles optiques. Ces lentilles optiques réduisent l'image (à l'inverse des lentilles optiques du microscope qui agrandissent l'image). Entre ces lentilles (entre 20 et 50 !) et de la résine est infiltrée une fine couche d'eau (l'eau ayant également des propriétés réductrices). Le dessin ainsi miniaturisé est donc maintenant parvenu, par projection, jusqu'à la résine. Sous l'action de la lumière du laser, tout le surplus de résine (ce qui est autour des contours du dessin) se décompose. Sous la résine se trouve notre fameuse plaque de silicium (le socle de la puce) où vient s'imprimer ce qu'il reste.
Et ?
Et le fait d'infiltrer de l'eau est tout nouveau. Vu que l'on veut toujours faire plus petit, il faut trouver des solutions pour réduire l'image et l'eau en fait partie. Mais ce qu'on ne maîtrise pas c'est l'action qu'a l'eau sur la résine. Ces deux matières interagissent entre elles ce qui peut créer des défauts. A moi d'essayer de les corriger.
Quel programme !
Oui en effet, c'est passionnant même si ça paraît très compliqué. Heureusement que l'on a une grande liberté d'action. Le principal étant que l'on trouve une réponse à nos questions, quel que soit le chemin que l'on emprunte !
© photo D.R.

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Benjamin

18 ans

PARIS 1 - FACULTÉ DE DROIT, UNIVERSITÉ PANTHÉON SORBONNE

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